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반도체 급 석영 실린더는 반도체 에칭 공정에서 석영 링의 기본 재료로 사용된다.
특성
반도체 급 석영 실린더는 고순도, 마이크로 버블 프리, 낮은 하이드록실 등을 특징으로 합니다.
코드
PQ100E, PQ100EH
사양(단위: mm)
OD 범위 | ID 범위 |
300-350 | 210-240 |
350-400 | 240-300 |
400-450 | 330-350 |
물리화학적 특성
1) 추적 요소(단위:ppm)
코드 | 기준 | 알 | Ca | Cr | Cu | 페 (Fe) | K | 리 | Mg | 미네소타 | 나 | 티 (주) | Zr |
PQ100E | 전형적인 | 13 | 0.5 | <> | <> | 0.1 | 0.1 | 0.3 | 0.05 | 0.05 | 0.1 | 1.3 | 1 |
최대 | 19 | 1 | 0.1 | 0.1 | 0.5 | 1 | 1 | 0.2 | 0.2 | 1 | 2 | 2 | |
PQ100EH | 전형적인 | 8 | 0.6 | <> | <> | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 0.05 | 0.05 | 0.1 | 1.3 | 1 |
최대 | 10 | 1 | 0.1 | <> | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.2 | 0.2 | 0.5 | 2 | 2 |
2) OH 콘텐츠
PQ100E/ PQ100EH | OH<> |
3) 물리적 특성
| 항목 | 색인 |
밀도(g/cm3) | 2.2 |
열 전도도(w/m·k,1000°C) | 2.28 |
열 팽창 계수(°C-1,1000°C) | 5.5×10-7 |
연화점(°C) | 1670 |
아닐링 포인트(°C) | 1210 |
스트레인 포인트(°C) | 1110 |
4) 열 팽창 및 점도계계
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C옴파니 어드밴티지
●조명, 태양광, 광학, 광섬유, 반도체 등에 적용되는 전체 석영 솔루션;
●중요한 국가 특허 및 핵심 기술 소유;
●시오순도299.995-99.999%에 도달할 수 있습니다.
●용융 기술의 최첨단;
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