I. 신청
LPCVD Diffusion Quartz Tube는 반도체 LPCVD에 사용되어 기체 화합물을 반응시켜 기판 표면에 증착시켜 낮은 압력에서 가열하여 안정적인 고체 막을 형성할 수 있습니다. LPCVD는 Poly-Si, Si3N4, SiO2, 형광체-실리콘 유리, 붕소-형광체-실리콘 유리, 비정질 실리콘 및 내화 금속 실리사이드 및 기타 박막을 증착하는 데 사용됩니다.
II. 제품 기능
LPCVD Quartz Tube는 고순도, 낮은 수산기 및 고온 저항성 등이 특징입니다.
III. 상품 유형
PQ181E, PQ181E H, PQ181E-R, PQ181EH-R
IV．일반 사이즈
|
외경 범위 |
외경 공차 |
WT 공차 |
슬라이딩 |
타원형 |
절하다 |
|
외경<100.00 |
±1.00 |
±10.00퍼센트 |
15.00퍼센트 |
1.00퍼센트 |
0.10퍼센트 |
|
100.00 OD＜200.00 이하 |
±1.00 |
±10.00퍼센트 |
15.00퍼센트 |
1.00퍼센트 |
0.10퍼센트 |
|
200.00 OD＜300.00 이하 |
±1.00 |
±10.00퍼센트 |
15.00퍼센트 |
1.00퍼센트 |
0.10퍼센트 |
|
300.00 OD＜400.00 이하 |
±1.00 |
±10.00퍼센트 |
15.00퍼센트 |
1.00퍼센트 |
0.10퍼센트 |
|
400.00 OD＜500.00 이하 |
±1.00 |
±10.00퍼센트 |
15.00퍼센트 |
1.00퍼센트 |
0.10퍼센트 |
|
500.00 OD＜900.00 이하 |
±2.00 |
±10.00퍼센트 |
15.00퍼센트 |
1.00퍼센트 |
0.10퍼센트 |
V．물리화학적 특성
나. 미량 원소단위:ppm
|
암호 |
기준 |
알 |
캘리포니아 |
크롬 |
Cu |
철 |
K |
리 |
마그네슘 |
망간 |
나 |
티 |
Zr |
|
PQ181E PQ181E-R |
전형적인 |
13 |
0.5 |
<0.05 |
<0.05 |
0.1 |
0.1 |
0.3 |
0.05 |
0.05 |
0.1 |
1.3 |
1 |
|
최고 |
19 |
1 |
0.1 |
0.1 |
0.5 |
1 |
1 |
0.2 |
0.2 |
1 |
2 |
2 |
|
|
PQ181EH PQ181EH-R |
전형적인 |
8 |
0.6 |
<0.05 |
<0.01 |
0.1 |
0.1 |
0.2 |
0.05 |
0.05 |
0.1 |
1.3 |
1 |
|
최고 |
10 |
1 |
0.1 |
<0.01 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.2 |
0.2 |
0.5 |
2 |
2 |
참고: PQ181E-R/PQ181EH-R은 반도체용 리사이징 튜브입니다.
ii. OH 콘텐츠
|
PQ181E/ PQ181EH |
OH<10ppm |
PQ181E-R/ PQ181EH-R |
OH<30ppm |
iii. 물리적 특성
|
안건 |
지수 값 |
|
밀도(g/cm3） |
2.2 |
|
열전도율(w/m·k,1000도) |
2.28 |
|
열팽창 계수( 정도-1,1000도) |
5.5×10-7 |
|
연화점(정도) |
1670 |
|
어닐링 포인트(정도) |
1210 |
|
변형점( 정도 ) |
1110 |
iv. 열팽창 계수 및 점도
우리의 주요 RRODUCT
기본애플리케이션
C옴파니의 장점
□ ISO9001, ISO14001 인증
□제품은 TEL, LAM, AMAT 인증을 받았습니다.
□중국 석영의 고향에 위치
□SiO2의 순도는 99.995-99.999퍼센트에 도달할 수 있습니다.
□풀쿼츠 제품, 조명용, 태양광용, 광학용, 광섬유용, 반도체용 등 공급
□세계 최고의 유명 브랜드
CNAS 인증 실험실
생산 주요 설비
자주하는 질문:
1. 대량 주문이 있으면 할인이 되나요?
A: 그렇습니다 우리는 당신의 순서 양에 따라 다른 할인을 제안할 수 있었습니다.
2. 귀하의 제품은 어느 분야에 적용됩니까?
당사의 제품은 반도체, 태양열, 조명, 광섬유 등에 널리 사용됩니다.
3. 크기에 맞춤 디자인을 수락합니까?
A: 그렇습니다, 크기가 적당한 경우에
4. 우리 회사 로고를 명판과 패키지에 인쇄할 수 있습니까?
A:예, 그렇게 할 수 있습니다.
5.fl 어떤 제품이 필요한지 모르겠는데 어떻게 해야 하나요?
A: 그냥 쉬세요. "작동 압력", "온도" 및 "매체"만 제공하면 됩니다. 그런 다음 가장 적합한 제품을 제안하거나 참조할 수 있는 e-카탈로그를 제공합니다. 적합한 모델을 선택하면 모델 번호만 알려주면 됩니다.
6. 귀하의 MOQ는 무엇입니까? 시작 주문에 다른 스타일을 혼합할 수 있습니까?
A: 먼저 필요한 제품을 알려주십시오. 압축 피팅과 마찬가지로 MOQ는 2개입니다. 그러나 먼저 품질을 확인하기 위해 샘플로 모든 재고를 제공할 수 있습니다.
7. 다른 특수 소재로 제품을 만들고 싶다면 할 수 있습니까?
A: 당연히, 당신은 저희에게 디자인한 그림 또는 견본을 제공할 필요가 있고 연구 및 개발 부는 우리가 할 수 있는지 여부를 추정할 것입니다, 우리는 당신에게 가장 만족스러운 대답을 줄 것입니다.
고객 방문 및 전시 순간:
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